반도체 전.후공정 정전기 제거(대전방지)를 위한 최근 제전기술(리스트) 반도체 전.후공정 정전기 제거(대전방지)를 위한 개발해야할 제전기술(리스트) 반도체 전·후공정의 정전기 문제(ESD)는 수율과 직결되기 때문에 고도화된 제전 기술이 필수적입니다.최근 기술은 단순히 이온을 분사하는 것을 넘어,①파티클 발생 억제, ②좁은 공간 적용, ③빠른 제전 속도, ④정밀한 이온 밸런스 제어에 초점을 맞추고 있습니다. 최신 제전 기술들은 다음과 같이 구체적으로 나눌 수 있습니다.## 1. 차세대 이오나이저(Ionizer) 기술전통적인 코로나 방전 방식의 단점을 개선한 새로운 방식의 이오나이저들이 핵심 기술로 자리 잡고 있습니다.연 X선 방식 이오나이저 (Soft X-ray Ionizer) 🛰️원리: 낮은 에..